超纯水机是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的。 超纯水机又称做：超纯水器，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。质超纯水出水能达到18.25兆欧。
超纯水机的发展大致可以分为以下三个阶段：
一阶段：以蒸馏水为进水，配合超净单元。缺点是蒸馏器要消耗水电，生产10L/H水的机器一年要花费近万元的水电，同时存在缺水爆炸的隐患。蒸馏器出来的水还是有一些问题，比如水质低，水质不稳定。
二阶段：以自来水为进水，使用反渗透净化单元和超净化单元，局部监控。缺点是原水水质不稳定，容易导致出水水质不稳定，增加了净化单元的消耗。单元部件的无机结合容易导致水道中生物膜和细菌的生长，增加污染的风险。
三阶段：以自来水为进水，有完整的预处理单元、反渗透单元、超净化单元，有完整多方面的水质监测记录，各单元模块有机整合。
超纯水机广泛应用于各个行业，如制药行业、电子行业、食品行业等。超纯水设备起到了非常重要的辅助作用。
